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Ha Duong Ngo
Technologien der Mikrosysteme

Dieses Buch vermittelt einen umfassenden Überblick über die Technologien der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik -- von Werkstoffen und Fertigungsprozessen über die Herstellung von MEMS und integrierten Sc…

lieferbar ab 11.1.2027.
Buch
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