Ha Duong Ngo: Technologien der Mikrosysteme, Kartoniert / Broschiert
Technologien der Mikrosysteme
Buch
- Materialien, Prozesse und Herstellung halbleiterbasierter Systeme
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Aktueller Preis: EUR 34,99
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- Verlag:
- Springer-Verlag GmbH, 01/2027
- Einband:
- Kartoniert / Broschiert
- Sprache:
- Deutsch
- ISBN-13:
- 9783658528560
- Artikelnummer:
- 12830233
- Sonstiges:
- Etwa 250 S. 255 Abbildungen
- Nummer der Auflage:
- 27002
- Ausgabe:
- 2., aktualisierte Auflage 2026
- Erscheinungstermin:
- 11.1.2027
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Klappentext
Dieses Buch vermittelt einen umfassenden Überblick über die Technologien der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik -- von Werkstoffen und Fertigungsprozessen über die Herstellung von MEMS und integrierten Schaltkreisen bis hin zu Mikrosensoren und Aktoren. Es richtet sich an Studierende, Ingenieure und Forschende und verbindet physikalische Grundlagen mit modernen industriellen Anwendungen.
Anmerkungen:
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Ha Duong Ngo
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