Ulrich Hilleringmann: Silizium-Halbleitertechnologie
Silizium-Halbleitertechnologie
Buch
- Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
- Springer Fachmedien Wiesbaden, 10/2023
- Einband: Kartoniert / Broschiert, Paperback
- Sprache: Deutsch
- ISBN-13: 9783658423773
- Bestellnummer: 11535535
- Umfang: 324 Seiten
- Nummer der Auflage: 23008
- Auflage: 8. Aufl. 2023
- Gewicht: 546 g
- Maße: 240 x 168 mm
- Stärke: 18 mm
- Erscheinungstermin: 27.10.2023
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Klappentext
Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen Nanometern gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessführung erläutert. Moderne 3D-Bauformen für Feldeffekttransistoren runden den Inhalt ab.Biografie
Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann ist Leiter des Fachgebietes Sensorik an der Universität Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Messtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.Anmerkungen:
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